RF-CO₂激光器射频电源监控平台

作者：唐化江; **军; 谭荣清; 黄文武; 刘峻曦; 李辉; 宁方晋; 卢越; 朱子任

来源：红外与激光工程, 2021, 50(S2): 99-105.

• RF-CO2激光器
• 射频电源
• 电源监控
• 自动保护

射频电源是RF-CO2激光器中的一个重要部件。在开发一个新的RF-CO2激光器时,由于激光器负载和射频电源匹配失调,在调试过程中容易造成射频功放功率管击穿、烧损。为解决这一问题,设计了一套集数据采集、自动保护控制和可视化技术为一体的RF-CO2激光器射频电源监控平台。平台采用软件和硬件相结合的方式,在射频电源中嵌入控制模块,搭建数据采集系统和自动保护系统,并结合电路设计软件平台完成对射频电源的数据信息采集和保护控制。经过实验测试,平台可以有效避免射频电源功率管的损坏,实现射频电源的自动保护,并完成射频电源系统的数据采集和远程保护控制,缩短了RF-CO2激光器的调试周期,提高了整机的开发效率。

• 单位
  中国科学院大学