锗薄膜在低温下的折射率研究（英文）

作者：徐嶺茂; 周晖; 张凯锋; 郑军; 李坤; 王济洲; 王多书

来源：红外与毫米波学报, 2018, 37(01): 11-14.

• Ge膜
• 红外光学薄膜
• 折射率温度系数

利用电子束蒸发方法在双面抛光的ZnSe基底上镀制单层Ge薄膜.在80 K300 K温度范围内,采用PerkinElmer Frontier傅里叶变换红外光谱仪低温测试系统每20 K测量Ge单层在215μm波长范围的透射率.采用全光谱反演拟合方法得到Ge单层在不同温度下的折射率.结果显示,Ge单层折射率均随波长增大而减小,且变化趋势基本相同.利用Cauchy色散公式对折射率波长色散关系进行拟合,得到Ge薄膜材料折射率温度/波长色散表达式为:n(λ,T)=3.29669+0.00015T+5.96834×10-6T2+0.416 98/λ2+0.173 84/λ4.最后,验证了Ge单层膜折射率温度/波长色散公式的准确性.

• 单位
  兰州空间技术物理研究所; 无锡泓瑞航天科技有限公司