化学气相沉积ZnS、ZnSe研究进展

作者：赵小玻; 韦中华; 张旭; 钱纁; 于浩海^*

来源：人工晶体学报, 2023, 52(12): 2125-2134.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2023.12.009

• ZnS
• ZnSe
• 化学气相沉积
• 透过率
• 吸收系数
• 缺陷
• 红外光学材料

化学气相沉积(CVD)ZnS、ZnSe具有较高的红外透过率及良好的光学、力学性能，是红外军用探测系统首选的红外光学材料。大尺寸、高均匀性ZnS、ZnSe材料的制备是未来研究的重要课题。本文介绍了CVD的原理及在沉积过程中存在的主要问题，阐述了高性能红外材料必备的光学性能，综述和分析了CVD ZnS、CVD ZnSe的研究进展，以及这两种材料主要缺陷形成机理与工艺控制研究。旨在改进生产工艺参数，为批量化制备高性能ZnS、ZnSe材料提供理论参考，以满足其在军事领域上的应用。

• 单位
  北京中材人工晶体研究院有限公司; 山东大学