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摘要
基于MEMS工艺制造的薄膜体声波谐振器（FBAR）是一种新型的质量传感器,在气相环境中具有极高的Q值,但在液相环境中,由于液体阻尼作用,FBAR的Q值大幅降低.本文提出了一种谐振器与微流道集成的解决方案,避免了谐振器和液体的大范围接触,有效提高了谐振器的Q值.通过设计新的加工流程,利用标准MEMS工艺实现了微流道和谐振器的集成.将该集成器件用于葡萄糖浓度的检测,结果表明其具有较小的检测极限和极高的线性度.由于充分利用了MEMS技术能进行大批量器件加工的特点,可极大地降低器件成本.集成微流道后,大大降低了样品的使用量,可实现对微升级别样品的检测,在微量检测中具有重要的应用前景.
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单位天津大学; 精密测试技术及仪器国家重点实验室
