现有光谱穆勒矩阵椭偏检测仪的测量功能已固定，不能根据实验需求实现更多物理量测量的不足。为解决此问题提出了结合COMSOL多物理场光学仿真与宽光谱穆勒矩阵椭偏测量数据，实现更多物理参数测量的新方案。以膜厚测量为实例，通过比较硅基底上不同厚度二氧化硅薄膜和同一厚度在不同入射角下二氧化硅薄膜仿真值与椭偏仪实验测量值所得穆勒矩阵的匹配度，得到均方误差值相对最小时的二氧化硅薄膜厚度值，验证了光谱穆勒矩阵椭偏测量与仿真模拟相结合的方法的可行性和有效性。
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