蓝宝石晶体生长真空工艺环境研究

作者：苏静洪; 金志杰; 张钦亮

来源：电子工业专用设备, 2016, 45(06): 25-59.

• 蓝宝石晶体
• 泡生法真空
• 真空度

蓝宝石单晶因其优良的综合性能,近年来作为高亮度发光二极管(LED)的衬底材料和窗口材料等领域已经取得了较为广泛的应用。简述了蓝宝石晶体的几种重要生长方法,着重介绍了采用泡生法生长蓝宝石时,真空度对蓝宝石晶体生长的影响。