五轴加工中心范成铣磨离轴非球面研究

作者：陈曦; 戴卓成; 郭培基; 王伟^*

来源：光学技术, 2022, 48(01): 55-59.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.01.003

• 范成法
• 铣磨
• 离轴非球面
• 五轴加工中心
• 同轴母镜

离轴非球面作为非球面的一部分,是空间光学系统、天文学和高精度测量系统不可或缺的光学器件。针对空间光学对离轴非球面光学元件制造技术的重大需求,开展了离轴非球面反射镜的精密铣磨加工技术研究。分析了五轴联动范成法铣磨离轴非球面的原理,将离轴非球面所在的同轴母镜离散为一系列不同半径的球面环带,将工件坐标系建立在待加工离轴非球面的同轴母镜中心位置,使用杯形砂轮依次范成离轴镜所在的同轴母镜上的环带,由众多的球面环带拼接出离轴非球面。对Φ100mm直径离轴抛物镜进行工艺试验,环带宽度7.28mm,一次加工面形精度PV达到7μm, RMS达0.622μm,加工用时7min。研究表明该方法具有可行性,为离轴非球面快速铣磨提供了有效的解决方案。

• 单位
  苏州大学