Pb(Zr_x,Ti_(1-x))O_3成分梯度铁电薄膜的制备、结构及电性能表征

作者：李建康; 姚熹

来源：红外与毫米波学报, 2005, (04): 250-254.

• 成分梯度薄膜
• 锆钛酸铅
• 快速热处理
• 热释电系数 compositionally graded thin films
• Pb(Zr_x
• Ti_(1-x))O_3
• rapid heat-treatment
• pyroelectric coefficient

采用Sol-Gel方法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zrx,Ti1-x)O3成分梯度薄膜.经俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的“上梯度”薄膜进行了成分深度分析,结果证实其成分梯度的存在.经XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变.经介电频谱测试表明,梯度薄膜的介电常数比每个单元的介电常数都大,但介电损耗相近.在10kHz时,上、下梯度薄膜的介电常数分别为206和219.经不同偏压下电滞回线的测试表明,上、下梯度薄膜均表现出良好的铁电性质,其剩余极化强度Pr分别为24.3和26.8μC·cm-2.经热释电性能测试表...

• 单位
  西安交通大学; 苏州科技大学