薄膜压电系数测量方法的研究进展

作者：董佳丽; 相文峰; 赵昆; 岳义; 贺卓; 赵嵩卿

来源：微纳电子技术, 2014, 51(01): 59-65.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2014.01.010

• 压电系数
• 压电薄膜
• 测试方法
• 正压电效应
• 逆压电效应

基于国内外对于薄膜压电系数的研究成果,系统地综述了薄膜压电系数的测量方法,如正向压力法、圆片弯曲法、激光干涉法、悬臂梁法和显微镜法等,并对这些方法的基本原理、测试表征、应用状况及存在的问题进行了详细的分析,同时比较了这些方法的优缺点。传统的测量方法,如正向压力法、圆片弯曲法和悬臂梁法等已经遇到了技术瓶颈,难以得到根本性的优化;而高分辨率的激光干涉法和显微镜法测量方便、可靠,与其他技术相结合有望成为表征薄膜压电系数的标准方法。