解耦硅微陀螺仪的结构误差分析和系统性能测试(英文)

作者：杨波; 王寿荣; 李宏生; 黄丽斌; 李坤宇; 殷勇

来源：纳米技术与精密工程, 2010, (06): 545-552.

DOI：10.13494/j.npe.2010.096

• 全解耦硅微陀螺仪(DSMG)
• 机械耦合误差
• 弹性梁
• 零偏输出漂移 decoupled silicon micro-gyroscope(DSMG)
• mechanical coupling error
• suspension beam
• zero-rate output drift

为了研究对称解耦的硅微陀螺仪的性能,对其结构误差进行了分析,并对其系统性能进行了测试.利用全解耦硅微陀螺仪的简化运动模型,分析了由弹性梁梁宽误差导致的机械耦合误差,并推导其公式.利用有限元方法,对机械耦合误差进行了仿真.仿真结果表明,当悬臂梁的加工误差在0～0.4μm间变化时,机械耦合误差变化范围为0～62.88°/s;同时仿真结果和计算结果比较显示,机械耦合误差的仿真结果基本与理论公式的计算结果相符,证明理论分析的正确性.对机械耦合误差进行了测试,测试结果表明,全解耦硅微陀螺仪的机械耦合误差仅为31°/s,相比课题组前期的半解耦硅微陀螺仪缩小了13.9倍.系统性能实验结果表明,由于机械耦合误...

• 单位
  东南大学