高精度工作平台调平技术

作者：徐爱群; 杜浩然; 王名宏; 林立洲

来源：现代制造工程, 2022, (12): 69-74.

DOI：10.16731/j.cnki.1671-3133.2022.12.010

• 自动调平
• 调平方法
• 柔性机构
• 压电陶瓷自感知执行器
• 综述

工作平台的水平状况直接影响着零件的加工精度，回顾了传统自动调平装置的结构组成、调平方法的发展历程，分析了传统自动调平装置及调平方法存在的问题，对柔性机构和压电陶瓷自感知执行器的国内外研究现状和应用背景进行综述，提出了一种新型自动调平装置和调平方法，为高精度自动调平装置的研究提供参考。

• 单位
  浙江科技学院; 杭州海康威视数字技术股份有限公司