光电测量技术的光学元件表面缺陷自动识别

作者：景辉辉; 王静宜

来源：激光杂志, 2020, 41(09): 206-210.

DOI：10.14016/j.cnki.jgzz.2020.09.206

• 光电测量技术
• 光学
• 元件
• 表面
• 缺陷
• 识别

采用高精密仪器配合人工识别光学元件表面缺陷时,具有漏识别、误识率较大的弊端。提出基于光电测量技术的光学元件表面缺陷自动识别方法,先通过基于光电测量技术的光学元件表面检测方法,获取光学元件表面轮廓特征衍射图像;再采用基于衍射图像的元件表面的缺陷识别方法,通过纹理、尺寸自适应分割表面轮廓特征衍射图像的边缘轮廓特征,并融合Harris角点识别方法完成元件表面缺陷特征识别。经验证,此方法对元件表面不同缺陷特征检测精度值高达0.98,表面缺陷自动识别的漏识率低于2%,误识率低于1%,且对光学元件表面检测、表面缺陷自动识别的耗时最大值依次是1.22 s、1.13 s。则该方法识别精度大于对比方法,且识别效率存在一定优势。

• 单位
  吕梁学院