喷墨打印金属氧化物异质结晶体管

作者：杨文宇; 张国成^*; 崔宇; 陈惠鹏^*

来源：发光学报, 2019, 40(04): 497-503.

• 金属氧化物半导体
• 喷墨打印
• 异质结
• 二维电子气

通过用喷墨打印制备的ZnO/IGZO异质结代替单层半导体沟道克服了氧化物缺陷导致的电子传输限制。ZnO/IGZO异质结晶体管表现出带状电子传输,迁移率比单层IGZO或ZnO TFT分别增大了约9倍和19倍,达到6.42 cm2/(V·s)。开关比分别增大了2个和4个数量级,达到1.8×108。性能的显著改善源自于IGZO和ZnO异质界面间由于导带的大偏移量而形成的二维电子气。

• 单位
  福州大学; 福建工程学院