菌紫质在相移干涉计量中的应用

作者：韩俊鹤; 姚保利; 郜鹏; 陈利菊; 王英利; 雷铭

来源：第七届全国光学前沿问题讨论会, 中国广西桂林, 2007-10-01.

• 相移干涉
• 光致各向异性
• 干涉图样

<正>相移干涉计量具有极高的精度和非接触检测的优点,因此被广泛用于物体表面形变的精密测量、振动分析以及光学元件缺陷的检测等。在传统的相移干涉计量中,一般通过压电陶瓷移动反射镜和光栅来实现相位改变。由于非线性和磁滞现象,可能导致测量结果与物体的实际形貌间存在较大差

• 单位
  瞬态光学与光子技术国家重点实验室; 中国科学院西安光学精密机械研究所