光学加工过程中,粗磨与精磨阶段材料去除量最大,而抛光阶段的材料去除量则小很多,因此若对粗精磨表面进行精确全场测量将极大缩短加工过程。在现有测量手段中,三坐标机和红外干涉仪存在价格昂贵或效率不高问题。将光学三维传感方法中的双目结构光技术用于光学加工过程,实现了对光学元件粗精磨表面的无接触、全场、快速高精度测量。实验结果表明所提方法切实可行,测量误差小于10μm,对加工过程中切削加工量的快速精确测量具有应用价值。
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