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摘要
针对微电子加工等超精密制造领域高精度和超洁净等要求,提出了一种平面型磁悬浮平台。介绍了平台的结构及工作原理,通过电磁力的优化计算得到系统的等效质量,建立了系统分散控制的动态等效单自由度模型。讨论了系统刚度阻尼和控制系统之间的关系,在此基础上确定了各控制参数随平台运动位置的函数关系。最后给出了平台的悬浮波形,仿真结果表明,在动态控制参数下,系统超调量更小;实验结果表明,系统动态响应快,具有良好的悬浮性能,鲁棒性强。
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单位中南大学; 高性能复杂制造国家重点实验室; 机电工程学院
