一种用于标准单元版图交替移相掩模相位兼容性规则检查的工具

作者：高根生; 史峥; 陈晔; 严晓浪

来源：半导体学报, 2004, (05): 601-606.

• 交替移相掩模
• 相位冲突图
• 标准单元

介绍了一套基于相位冲突图的生成和处理的新方法 ,可以准确、全面地对由传统方法设计的标准单元版图(暗场 )进行检查 .基于此方法的软件工具能够检查标准单元版图 ,找出不符合交替移相掩模设计要求的图形 ,并给出相关的修改建议 .实验结果证实了该工具的有效性

• 单位
  浙江大学