Ge-Sb-Se硫系薄膜制备及光学特性研究

作者：张巍; 陈昱; 付晶; 陈飞飞; 沈祥; 戴世勋; 林常规; 徐铁峰

来源：Acta Physica Sinica, 2012, (05): 366-371.

• 硫系玻璃
• 硫系薄膜
• 热蒸发法
• 光学特性 chalcogenide glasses
• chalcogenide thin films
• thermal evaporation
• optical properties

介绍了几种常见的硫系薄膜制备方法,根据现有实验条件采用热蒸发法和磁控溅射法制备出Ge-Sb-Se三元体系硫系薄膜,通过台阶仪测试薄膜的厚度和表面粗糙度,计算出两种制备方法的成膜速率,并通过X射线光电子能谱测试了两种制备方法所得薄膜与块体靶材组分的差别.利用Z扫描技术和分光光度计测试了热蒸发法制备所得薄膜的三阶非线性性能和透过光谱,计算出非线性折射率、非线性吸收系数和薄膜厚度等参数.结果表明热蒸发法制备Ge-Sb-Se薄膜具有良好的物理结构和光学特性,在集成光学器件方面很高的应用潜力.

• 单位
  宁波大学; 瞬态光学与光子技术国家重点实验室; 中国科学院西安光学精密机械研究所