微器件操作末端执行器研究现状

作者：宋龙刚; 李晨^*; 董亮; 韩佩瑛

来源：微纳电子技术, 2023, 60(10): 1537-1550.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2023.010.003

• 微机电系统(MEMS)
• 微纳制造技术
• 微器件
• 微操作
• 末端执行器

微纳制造技术和微机电系统(MEMS)的迅猛发展,推动了微器件向微型化、集成化、多功能化方向发展。微器件操作末端执行器是微操作工具与微器件直接作用的部件,具有重要研究意义。综述了微器件操作末端执行器的研究现状和成果;对国内外微器件操作末端执行器进行了汇总和分类;对微器件操作末端执行器的工作原理和结构进行了介绍;基于对接触式和非接触式末端执行器研究现状的总结,分析了各种末端执行器的优势和局限。最后,讨论了微器件操作末端执行器的应用现状和面临的挑战,并对末端执行器的发展进行了展望。该研究为微器件操作末端执行器的选取和开发提供了技术参考。

• 单位
  机电工程学院; 陕西科技大学