扫描声学显微镜的扫描技巧探讨

作者：刘玲玲; 范丹丹; 纪帆; 谭伟; 李文祥

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(06): 42-55.

• 分层
• 探头频率
• 气泡

探讨了在SAT(Scanning Acoustic Technology)扫描过程中对分层扫描结果有显著影响的探头频率、探头下部的气泡、样品表面的气泡、气泡的处理方法及浸泡时间等进行了讨论,结果表明,合适频率的探头、有效的气泡去除及在最佳浸泡时间内才能得到正确的分层扫描结果。