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摘要
基于微机电系统（Micro Electro Mechanical System,MEMS）工艺加工声波敏感结构，将声波敏感结构与光纤端面构成非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪（Extrinsic Fabry-Perot Interferometer,EFPI）感知声波。研究了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构对声波探测性能的差异，对比了信噪比测试结果。实验结果表明，针对400 nm和1 000 nm厚度的声敏薄膜，在相同的测试条件下，前者的声敏结构位移更大、频率响应的信噪比更高。在相同薄膜厚度条件下，具有增敏结构的MEMS薄膜可以释放薄膜的初始应力，降低薄膜的刚性，相比无增敏结构的MEMS薄膜具有更高的灵敏度。
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