球面绝对检测方法的误差影响分析及实验研究

作者：彭建华; 沈亦兵; 汪凯巍; 王东升

来源：红外与激光工程, 2012, (05): 1345-1350.

• 绝对检测
• 机构调整误差
• 环境扰动误差
• 旋转误差控制装置 absolute testing
• alignment error
• environmental perturbation error
• mount for controlling rotary error

球面绝对检测方法可以去除参考面面形误差的影响,从而提高了被检面的检测精度。在此高精度的检测中,被检面机构调整误差和环境扰动误差是影响检测结果的两个主要因素。将机构调整误差理解成一种特殊的面形误差,通过这一思路分析了该误差对最终检测结果的影响。为了提高检测精度,根据高阶离焦模型去除了调整误差中的离焦误差,并且设计了一种简易有效的旋转角度控制机构用来控制旋转错位误差。将环境扰动误差看作是随机误差,分析了该误差对三步检测每一步的影响,并采用多次测量取平均的办法减小其影响。基于Zygo干涉仪,使用六自由度高精度调整机构对精度优于λ/40的被检球面进行了绝对检测。绝对检测三步法测得的被检面面形误差的评价...

• 单位
  浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室