凸面锗窗口亚波长抗反射结构的设计与制备

作者：陈佛奎; 丁江; 余明; 马翠; 林慧

来源：激光与光电子学进展, 2022, 1-10.

• 微结构制造
• 亚波长结构
• 柔性紫外纳米压印
• 抗反射

红外光学成像系统的灵敏度与光学窗口透射率密切相关，锗窗口是红外光学系统常用窗口，在锗窗口上制备亚波长结构可以增强抗反射性能从而提高透过率，且常选择凸面窗口以获得更大的视场角。针对曲面窗口上亚波长结构制备工艺较为复杂的难题，本文运用柔性紫外纳米压印方法（Soft UV-NIL）在凸面锗窗口表面高效高质量地制作了亚波长抗反射结构。首先基于时域有限差分方法优化设计了亚波长抗反射结构参数，其次基于Soft UVNIL工艺制备符合设计要求的亚波长结构。测试结果表明，在3.55-5.55μm范围内，凸面锗窗口单面平均透过率由65.81%提升到78.68%，其中在波长4.4μm处由65.85%提升至83.13%，实现了中红外宽波段抗反射效果。

• 单位
  中国科学院深圳先进技术研究院; 广西大学