新型MEMS电容薄膜真空计设计与仿真数据分析

作者：黄麒麟; 许马会^*; 单文桃; 冯勇建

来源：仪表技术与传感器, 2023, (12): 117-121.

• 有限元
• MEMS
• 电容式
• 薄膜真空计
• 梁结构
• 小量程

为解决MEMS电容薄膜真空计的小量程与高灵敏度相矛盾的问题，基于MEMS技术，设计了一种新型结构的薄膜真空计，能够感应到微小的压强变化，实现0.001～1 Pa范围的真空度测量。在一定范围的真空度都具有测量的可行性，基于MEMS技术的电容薄膜真空计而言，新型薄膜真空计才能够体现出线性度强、变化率大的优势。文中主要针对薄膜真空计不同参数进行了讨论，通过有限元仿真分析，模拟出在压力作用下的变化趋势，并对器件的尺寸和参数进行了优化设计，实验验证了设计的薄膜真空计在0.001～1 Pa范围内有良好的测量效果。

• 单位
  厦门大学; 航天学院; 江苏理工学院