国内外集成电路制造业PFCs排放量计算方法的对比研究

作者：杨杰雄; 杨庆宇; 李三良; 杨永刚

来源：安全与环境工程, 2018, 25(03): 98-102.

DOI：10.13578/j.cnki.issn.1671-1556.2018.03.016

• 全氟化物(PFCs)
• 集成电路制造业
• 排放量
• 计算方法对比

全氟化物(PFCs)是《京都议定书》确定的6种温室气体之一,大多数PFCs具有极高的全球暖化潜势值,在集成电路制造过程中会排放大量的PFCs。通过分析目前国内外集成电路制造行业PFCs排放量的计算方法,对比了其异同点及优劣性,可为我国企业提高其计算准确度提供借鉴,也为进一步改进计算方法提出了建议。