自补偿型双摆式干涉仪的设计

作者:石磊; 孙长库; 夏恒新; 李岩松
来源:分析测试技术与仪器, 2023, 29(03): 304-308.
DOI:10.16495/j.1006-3757.2023.03.009

摘要

受自身体积、重量、抗震性能等方面的限制,傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)难以在工业现场的应用中取得很好的效果.在充分利用立体角镜与平面折返镜各自光学特性的基础上,设计了一种自补偿型的双摆式干涉仪,在光学原理上解决干涉仪稳定性的问题.通过对扫描机构的电力学分析与建模,建立了控制器与扫描速度之间的关系,并利用高速数字信号处理(DSP)技术实现相应的控制算法,能够将速度误差控制在±0.2%的范围内.通过对仪器性能及标准样品的测试表明,仪器具有较高的信噪比与稳定性,能够满足工业应用的需求.

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