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摘要
本发明公开了一种基于双光路的微位移视觉测量装置与方法,其用于精密定位过程的测量。该装置包括成像系统支撑装置、精密定位滑台、双光路分光模块、工业相机、显微镜头、相机光源、标志板、标志图案、微位移定位平台等部分。两个相机在双光路分光模块的两个出光口处成正交布置,分别捕获定位过程中标志图案在X方向和Y方向的图像信号,同时每个相机减少冗余的像素显示,增加单位时间的视频采样频率,提高对精密定位过程测量的动态性能；同时利用X和Y两个方向的图像特征分别进行基于灰度信息的模板匹配,提高了视觉测量的测量范围；最后在模板匹配的过程中引入了亚像素插值技术,实现了对精密定位过程的高精度测量。
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