RH真空精炼工艺中应用的真空泵有3种型式,分别是全蒸汽喷射泵、末级水环真空泵-前级蒸汽喷射泵和全机械真空泵。分别从工作原理、设备组成、能源介质耗量、生产运行情况、一次性投资和运行成本等方面进行相应的比较。结果表明,3种型式的真空泵的优缺点,以方便对RH真空精炼工艺进行真空泵型式的选择。