不同磁芯材料在微电感中的应用

作者：高孝裕; 周勇; 陈吉安; 毛海平; 雷冲; 张亚民; 王明军

来源：半导体技术, 2005, (10): 71-74.

DOI：10.3969/j.issn.1003-353X.2005.10.016

• 磁芯材料
• 微电感
• 电感量
• Q值

叙述了坡莫合金,铁氧体和非晶、纳米晶软磁等材料用作微电感磁芯的磁性材料的特性及其对微电感性能的影响,如电感量和Q值。并介绍了螺线管型微电感的制作工艺过程。

• 单位
  薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学