AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用

作者：郭占社; 吴一辉; 孟永钢

来源：清华大学学报(自然科学版), 2005, (08): 1062-1065.

DOI：10.16511/j.cnki.qhdxxb.2005.08.015

• 机械制造工艺
• AZ4903
• 电磁型平面微电机
• 绕组线圈 <Keyword>mechanical machining process
• AZ4903
• electromagnetic planar micromotor
• windings

为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作出了厚度为40μm、陡直度良好的定子绕组线圈。把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机,通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明,电机运转平稳、力矩波动小。

• 单位
  清华大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 摩擦学国家重点实验室