在分析惰性气体Xe能级结构的基础上,利用823 nm二极管激光器和辉光放电管,建立了亚稳态Xe激光吸收光谱测量系统,实现了典型工况下Xe总粒子数密度及129Xe,131Xe粒子数密度的定量测量,验证了采用激光吸收光谱技术测量惰性气体Xe的可行性,为研制小型一体化的Xe实时在线监测装置奠定了技术基础。