压阻式高温压力传感器温度补偿与信号调理设计与测试

作者：薛胜方; 梁庭^*; 雷程; 李志强; 单存良

来源：计算机测量与控制, 2021, 29(02): 256-266.

DOI：10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2021.02.049

• 高温压阻式压力传感器
• 无源电阻温度补偿
• 信号调理

设计制作了一种集成信号调理电路的高温压阻式压力传感器,包含倒装式的压敏敏片、无源电阻温度补偿电路和信号调理电路组成;压敏芯片的制作采用SOI材料和MEMS标准工艺,温度补偿和信号调理电路采用高温电子元件;试验表明,无源电阻温度补偿具有显著的效果;此外,采用了高温信号调理电路来提高传感器的输出灵敏度,通过温度补偿来降低输出灵敏度;与传统的经验算法相比,所提出的无源电阻温度补偿技术具有更小的温度漂移,在220℃条件下传感器输出灵敏度为4.93mV/100 kPa,传感器灵敏度为总体测量精度为±2%FS;此外,由于柔性传感器的输出电压可调,因此不需要使用一般的电压转换器随动压力变送器,这大大降低了测试系统的成本,有望在恶劣环境下的压力测量中得到高度应用。

• 单位
  中北大学