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摘要
低温等离子体技术通过放电产生活性物质与高能电子降解大气量、低浓度挥发性有机物，对于高浓度非点源有机废气治理需要结合具有散热与火焰淬熄功能的微通道技术。目前对微通道技术在精细化工领域的研究较充分，但微通道应用于等离子体技术的研究较少。本工作总结了微通道低温等离子体放电技术的研究进展，明确介质阻挡放电、辉光放电等放电类型与微通道构型结合更具适配性；阐述了火焰淬熄功能在微通道反应器中的重要作用；介绍了多种微通道等离子体反应器治理VOCs的实际应用，其中环流式反应器构型设计更有利于提高治理效率；概述了微型数控机床等技术加工精密微通道反应器的应用，可实现反应器压力降、放电稳定性与电子能量密度要求；展望了未来微通道低温等离子体技术的发展方向。
