胍基硅前驱体的合成及应用

作者：马潇; 许从应; 许东升; 丁玉强; 金成刚; 季佩宇

来源：应用化学, 2019, 36(10): 1179-1185.

DOI：10.11944/j.issn.1000-0518.2019.10.190050

• 胍基
• 前驱体
• 化学气相沉积
• 应用

以胍基取代的二甲基二氯硅烷与胺基锂反应合成了3种硅基化合物,使用核磁共振、高分辨质谱、元素分析对化合物结构进行了表征,通过热重分析(TGA)研究了化合物的热稳定性、挥发性、蒸汽压等性能。3种化合物均具有良好的热稳定性及挥发性,无明显热分解过程,固体残留小于1%,接近纯挥发过程,最高蒸汽压在3600～5300 Pa,满足前驱体使用要求。以二甲基-胍基-甲乙胺基-硅烷为前驱体,采用螺旋波等离子体气相沉积(HWPCVD)工艺制备了硅基薄膜,使用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的化学组成和膜表面结构,XPS分析结果证实该薄膜为Si、N、C组成,实验结果表明,该类胍基硅化合...

• 单位
  江苏南大光电材料股份有限公司; 苏州大学; 化学与材料工程学院; 江南大学