高纯硅烷生产技术研究进展

作者：孟国均; 张建五; 王行均; 郜冬梅; 马名杰

来源：河南化工, 2015, 32(10): 15-17.

DOI：10.14173/j.cnki.hnhg.2015.10.004

• 硅烷
• 纯度
• 改进氯硅法

主要介绍了高纯硅烷的用途、生产意义、产品现状,详细介绍了现有的生产工艺,分析其优缺点。提出改进的氯硅法工艺,产品纯度能达到99.9999999%,该技术具有完全自主知识产权,可打破国外技术垄断,缓解我国高纯硅烷长期依赖进口的局面。

• 单位
  河南理工大学; 中国银河证券股份有限公司