Ag纳米阵列嵌埋单斜相二氧化钒复合薄膜的制备及光/电性能

作者：周章洋; 熊政伟^*; 曹林洪; 吴卫东^*

来源：硅酸盐学报, 2020, 48(10): 1567-1573.

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.20200148

• 二氧化钒
• 相变
• 透过率
• 银纳米颗粒

基于六角密排聚苯乙烯(PS)模板,采用电子束蒸镀法在石英基片上制备了Ag纳米阵列嵌埋的单斜相二氧化钒复合薄膜(Ag NPAs/VO2(M)),研究复合薄膜的微观结构、相变特性及光透过率。结果表明:复合薄膜中同时存在VO2(M)和Ag两相。复合薄膜相变温度(TC)低至55℃,通过能带模型分析揭示了Ag纳米颗粒的嵌入使得复合薄膜中自由电子浓度升高,诱发相变在较低温度处发生。相对于纯的VO2薄膜,在590～750 nm波段的透射率明显减弱,归因于复合薄膜中Ag NPAs对590～750 nm波段的可见光共振吸收,使得VO2薄膜固有的棕黄色被削弱。

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 西南科技大学