摘要
提出一种太赫兹(THz)超构材料的湿度传感器,可用于测量4%~76.1%范围内的空气湿度。该湿度传感器由周期排列的哑铃型不锈钢孔构成,其工作波段位于太赫兹波段。仿真结果表明,该传感器具有较高的折射率灵敏度。为进一步提高对湿度的灵敏度,还选择对水分子较敏感的丝素蛋白作为湿敏材料,将其涂覆于传感器表面。研究表明,该传感器的湿度灵敏度仿真和实验结果分别为0.20 GHz/%和0.11 GHz/%,高于已有报道的一些超构材料湿度传感器。
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单位电子工程学院; 浙江科技学院