石墨烯场效应管传感器关键工艺虚拟仿真实验建设

作者：栗军; 刘汉平; 许士才^*

来源：中国现代教育装备, 2021, (15): 31-34.

DOI：10.13492/j.cnki.cmee.2021.15.010

• 石墨烯
• 虚拟仿真
• 实验教学
• 学科交叉

科教融合,利用现代信息技术,把实验室高水平科研成果转化为虚拟仿真实验教学资源,开发了石墨烯场效应管传感器关键工艺虚拟仿真实验。该实验实现了甲烷气体生长为石墨烯、石墨烯演变为场效应管器件及最终实现传感功能等完整工艺流程,实验内容丰富,涉及多个学科的知识,有助于培养学生多学科交叉思维的意识和能力。

• 单位
  德州学院