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摘要
为了研究氧化型VCSELs的可靠性寿命模型和失效模式，对含有AlGaAs/GaAs量子阱的氧化型VCSELs进行了不同应力条件的老化实验，使用外推函数求得VCSELs的失效寿命，进而求得了不同应力条件下的中值寿命，并结合VCSELs的结温获得准确的寿命模型。最后，采用透射电子显微镜（TEM）分析了氧化型VCSELs的主要失效模式和机理。测试与试验结果表明：含有AlGaAs/GaAs量子阱的氧化型VCSELs的寿命模型参数激活能Ea为0.55eV，电流加速因子为2.01；氧化型VCSELs失效模式主要与具有内在应力的氧化层相关。
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