基于简并四波混频(DFWM)方法,研究了具有氮化硅中间层的氢化非晶硅(a-Si∶H-Si3N4)波导中的宽带波长转换。结果表明:通过沉积氮化硅层后的波导不但保持氢化非晶硅(a-Si∶H)波导的原有优点,而且在通信波段内降低传输损耗并增强非线性效应。在相同条件下,改善后的a-Si∶HSi3N4波导的转换效率和转换带宽均得到显著提高。通过理论计算对波导进行优化设计,表明利用该波导可实现波长转换带宽为490nm,转换效率为11.4dB。