CIGS太阳能电池用CBD-CdS/Zn(S,O)复合缓冲层的研究

作者：屈飞; 李辉; 古宏伟^*; 张贺

来源：稀有金属, 2018, 42(11): 1172-1177.

DOI：10.13373/j.cnki.cjrm.xy17090017

• CdS
• Zn(S,O)
• 缓冲层
• 太阳能电池

制备了CdS/Zn(S,O)复合缓冲层,通过Zn(S,O)改善窗口层光透过率,同时通过CBD-CdS与CuInxGa1-xSe2(CIGS)吸收层保留良好的结性能。CdS采用化学溶沉积(CBD)工艺制备,Zn(S,O)采用氧气氛磁控溅射工艺制备。研究了溅射气氛中氧分压、CBD-CdS厚度以及Zn(S,O)薄膜沉积的衬底温度对复合缓冲层透过率的影响。透过率测试表明氧掺杂可以改善ZnS薄膜的透过率,制备的Zn(S,O)薄膜在300～1500 nm波段范围的平均透过率可高达95%,与玻璃衬底相比,在CBD-CdS沉积2 min的衬底上制备的CBD-CdS/Zn(S,O)复合缓冲层在300～600 nm波段的透过率明显升高,这一波段与太阳光谱的最大能量区间吻合,有利于改善太阳能电池的短波响应特性。

• 单位
  中国科学院电工研究所