通过ZNB20矢量网络分析仪研究AlN声表面波器件的频率响应特性

作者：高俊宁; 蒋健柏; 李国强

来源：中国集成电路, 2017, 26(08): 72-75.

DOI：10.3969/j.issn.1681-5289.2017.08.015

• 声表面波器件
• ZNB20
• SAW
• AlN

作为选频滤波器,声表面波（SAW）器件在移动通讯领域有重要应用,在传感领域也有广阔的应用前景。AlN声速高,热导率高,材料的内禀损耗小,适合作高频SAW器件的压电转换材料。矢量网络分析仪是SAW器件性能表征的关键仪器。本文采用ZNB20矢量网络分析仪,搭载ST-103A手动变温探针台,通过片上测试,研究了AlN薄膜SAW器件的频率响应特性,并研究了器件的温度系数。研究发现,所制备的器件在其零阶谐振（341 MHz）处,其插入损耗为35 dB,品质因子为188,带边抑制约30 dB,器件的频率温度系数为-74.3 ppm/℃。结果表明,ZNB20与ST-103A组合,可高效完成SAW器件的性能表征。

• 单位
  华南理工大学; 发光材料与器件国家重点实验室; 材料学院