铼具有优异的物理力学性能，作为功能材料及超高温结构材料获得广泛应用。铼材料的制备方法有多种，化学气相沉积（CVD）是其主要的制备方法之一。本文简要介绍了化学气相沉积制备铼材料的反应类型、沉积条件及沉积效果，综述了CVDRe材料的沉积动力学、组织结构特征、力学性能的研究现状和典型应用，并与粉末冶金铼进行了对比分析。最后指出了目前CVDRe材料研究亟待解决的关键问题，并对进一步研究的方向和推广应用前景进行了展望。
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