集成电路双面老炼方案研究

作者：罗晶; 赵鹏; 王坦

来源：电子测试, 2020, (23): 111-96.

DOI：10.16520/j.cnki.1000-8519.2020.23.043

• 双面老炼板
• 效率提升
• 动态老炼

动态老炼试验是元器件可靠性试验中极为重要的过程,通过老炼可以剔除早期失效元器件。本论文简单介绍了老炼试验的重要性、实现方式及特点,并结合提出了两种双面老炼板工艺效率改进方案,均能在不增购老炼设备的前提下将老炼效率提升80%以上,并通过实践验证了其可行性。

• 单位
  中国航天科工集团公司