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摘要
现有电子洁净厂房为满足洁净度要求普遍存在循环风量冗余问题，具有降低风量节能的潜力，但风量降低过程中气流分布规律和颗粒分布特征的改变不容忽视。对电子洁净厂房常用的风机过滤单元(FFU)送风形式在25%布置率下降低风量的气流和颗粒分布特征进行数值研究，对3种典型人员位置，即人员在FFU下方和人员在盲板下方的情况进行分析。重点考察距离地面1 m高的工作面的颗粒物分布特征。结果表明：当人员处于FFU下方时，随风量降低，对人员热羽流的抑制作用变差，颗粒横向影响范围变大；当人员处于盲板下方时，人员热羽流不受控制，随风量降低，热羽流影响加剧，颗粒横向影响范围变大。人员处于盲板下方时颗粒控制效果差于处于FFU下方的情况。
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