基于μ1000/5ST-400V五轴立式精密机床，研究了RTCP跟随误差检测优化及补偿问题。首先，建立了位置误差数学模型，基于齐次变换方式，将旋转坐标转变为机械坐标。其次，通过优化算法，将位置误差转变为空间误差。控制系统更新迭代位置误差中的增益系数，提高了机床的空间误差的检测精确性，通过补偿，提高了机床的精度。最后试验采用S试件切削，切削的结果经过检验机构检测，证明了该方案的可行性。
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