中波10μm小间距原位集成微透镜技术

作者：刘世光; 徐碧婷; 徐长彬; 张轶

来源：激光与红外, 2021, 51(03): 339-342.

• 碲镉汞
• 中波
• 小间距
• 微透镜

原位集成微透镜能够在不改变封装结构的情况下,实现对入射光的汇聚效果,有效提升信号并降低串音,对于中波10μm小间距碲镉汞焦平面探测器的性能提升具有重要意义。本文设计并制备出了10μm小间距原位集成微透镜,成功实现了信号增强效果,器件的噪声等效温差(NETD)得到有效降低。

• 单位
  华北光电技术研究所