摘要

目的 研究靶材制备工艺对多弧离子镀(Arcionplating,AIP)MCrAlY涂层抗氧化性能的影响。方法 采用粉末冶金方法制备NiCrAlYSi(HY3) 靶材,然后采用AIP在DZ125合金基体上制备了HY3涂层。在1100℃下对粉末冶金靶材制备的涂层进行了200h的静态氧化实验,采用SEM、XRD等对靶材和氧化前后的涂层进行微观组织分析,并与传统铸造靶材进行对比研究。结果粉末冶金方法制备的靶材成分更均匀,其相尺寸~5μm,较铸造靶材低一个数量级。采用粉末冶金靶材制备的涂层(P涂层) 元素分布更均匀、β相含量更高。经过1100℃、200h的高温氧化,P涂层的氧化增重为1.01mg/cm2低于铸造靶材制备的涂层(C涂层)的1.10mg/cm2。200h后,P涂层表面的热生长氧化物(TGO)完整,而C涂层表面TGO则出现剥落。P涂层活性元素的均匀分布,促进了TGO内生成少量弥散分布的钉扎氧化物Y2Hf2O7,提高了TGO的抗剥落能力。更高的β相含量促进了氧化初期θ-Al2O3的快速生成,有利于P涂层生成保护性能更好的TGO。结论粉末冶金靶材成分均匀性优于传统铸造靶材;采用粉末冶金靶材制备的HY3涂层抗高温氧化性能优于铸造靶材制备的HY3涂层。