热场发射扫描电镜中的复合物镜和镜筒内探测系统

作者:高尚; 马清; 孙千; 黄梦诗; 陈双文; 张青
来源:测试技术学报, 2023, 37(05): 400-407.
DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2023.05.006

摘要

为了解释镜筒内探测器对信号发射角衬度反映的依赖,借助光镜像差类比方法解释物镜和探测系统协调工作以探测信号的原理,最后分析了两种当前使用复合物镜的探测系统。以上研究表明,在当代热场发射扫描电镜中,借助物镜的磁场和电场,物镜和探测系统协同能够实现筛分和过滤信号的目的,使用光镜类比可以成功地理解各种镜筒内探测器对信号的接收情况。

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