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摘要
本发明公开了一种抗紫外复合钝化层、金属氧化物薄膜晶体管和阵列基板。本发明的抗紫外复合钝化层的组成包括层叠贴合的疏水阻挡层和光稳定层,疏水阻挡层由疏水性物质构成,光稳定层的组成包括光稳定剂和基体树脂。本发明的金属氧化物薄膜晶体管的组成包括玻璃衬底、栅电极、栅介质层、有源层、源-漏电极层和本发明的抗紫外复合钝化层。本发明将疏水阻挡层和光稳定层复合作为钝化层,不仅可以阻隔环境中的紫外光对有源层的直接照射,减少光生载流子的生成,而且还能隔绝氧气和水蒸气等空气中的敏感因素与金属氧化物薄膜晶体管的有源层的直接接触,提高了金属氧化物薄膜晶体管的光学和电学稳定性,且不会对有源层造成化学诱导损坏。
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